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ISO 14644

ISO 14644規格は、クリーンルームおよびクリーンゾーンの米国連邦規格209E空中浮遊微粒子清浄度クラスから最初に形成されました。クリーンルームの分類とテストに単一の標準が必要であると長い間感じていました。 ANSIとIESTが新しい規格についてISOに請願した後、ISO 14644の最初の文書が1999年に公開されたISO 14644-1。

2000年にISO 14644-2が公開され、FED-STD-209Eのキャンセルプロセスが開始されました。 2001年11月29日に、文書は取り消され、ISO 14644-1およびISO 14644-2に置き換えられました。

ISO 14644は現在、
  • ISO 14644-1：空気清浄度の分類
  • ISO / DIS 14644-1.2（2014）：粒子濃度による空気清浄度の分類
  • ISO 14644-2：ISO 14644-1への継続的な準拠を証明するためのテストと監視の仕様
  • ISO / DIS 14644-2.2（2014）：粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルーム性能の証拠を提供するためのモニタリング
  • ISO 14644-3：試験方法
  • ISO 14644-4：設計、建設、およびスタートアップ
  • ISO 14644-5：操作
  • ISO 14644-6：語彙
  • ISO 14644-7：分離デバイ​​ス（クリーンエアフード、グローブボックス、アイソレーター、ミニエンバイロンメント
  • ISO 14644-8：空気中の分子汚染の分類
  • ISO 14644-9：表面粒子の清浄度の分類
  • ISO 14644-10：化学物質濃度による表面清浄度の分類
  • ISO 14644-12：ナノスケール粒子濃度による空気清浄度の分類

パート1：空気清浄度の分類

ISO 14644-1は、クリーンルームおよび関連する制御環境の空気清浄度の分類を対象としています。この基準による分類は、空中浮遊微粒子の濃度に関してのみ規定され、達成されています。このドキュメントは、米国国家標準として提出され、FED-STD-209Eのキャンセルに続いて、米国でANSI / IEST / ISO 14644-1：1999として採用されました。

パート2：ISO 14644-1への継続的な準拠を証明するためのテストと監視の仕様

パート2では、空中浮遊微粒子の清浄度の指定分類についてISO 14644-1に継続的に準拠していることを証明するために、クリーンルームまたはクリーンゾーンの定期テストの要件を指定しています。また、空中浮遊微粒子の清浄度の指定された分類についてISO 14644-1への継続的な準拠の証拠を提供するために、クリーンルームまたはクリーンゾーンの監視（設置）の要件も指定します。 FED-STD-209Eの廃止により、国際規格になりました。米国では2000年にANSI / IEST / ISO 14644-2：2000として採用されました。

パート3：テスト方法

このパートでは、空中浮遊微粒子の清浄度の指定された分類と、クリーンルームとクリーンゾーンの性能を特徴付けるテスト方法を指定します。これらのテスト方法は、2種類のクリーンルームとクリーンゾーンのドキュメントで指定されています。一方向フローと非一方向フロー。

この高度に参照された文書の最も重要な目的は、クリーンルームの測定と評価の国際的に共通の基盤を提供すると同時に、新しい技術の導入を妨げることではありません。

パート4：設計、建設、およびスタートアップ

このパートでは、クリーンルームおよびクリーンエアデバイスの設計と構築の要件、およびスタートアップと資格の要件を指定しますが、要件を満たすための特定の技術的または契約上の手段を規定していません。このドキュメントは、購入者、サプライヤ、およびクリーンルーム設置の設計者を対象としています。 2001年に米国規格として提出されました。

パート5：操作

ISO 14644-5は、クリーンルームと関連する制御された環境の運用と保守に関する基本要件を提供します。この規格は、アプリケーションに関係なく、すべてのクリーンルームの運用の基本的な要件に対応しています。トピックは次のとおりです。

  • 配置する必要がある運用システム
  • 適切なクリーンルーム衣服の選択と使用
  • 人員と活動のトレーニングと監視
  • 機器の設置と使用
  • クリーンルームで使用される材料の要件
  • 設計基準に準拠した清潔で使用可能な状態でクリーンルーム環境を維持します。

この部分は、2004年に国際標準として公開されました。この文書は、米国国家標準として提出され、米国でANSI / IEST / ISO 14644-5：2004として採用されました。

パート6：語彙

この部分は、汚染管理の専門家にとって重要な文書です。このドキュメントでは、ISO 14644およびISO 14698のすべての用語と定義について説明します。2008年3月に、このISO規格は最近、米国規格になりました。

パート7：分離デバイ​​ス（クリーンエアフード、グローブボックス、アイソレーター、ミニエンバイロンメント）

ISO 14644のこの部分は、パート4および5で説明されているクリーンルームとは異なる点で、分離デバイ​​スの設計、構築、設置、テスト、および承認の最小要件を指定します。

制限は次のとおりです。

  • アプリケーション固有の要件には対応していません。
  • ユーザー要件は、顧客とサプライヤーが合意したとおりです。
  • 分離デバイ​​スのインストールに対応する特定のプロセスは指定されていません。
  • 火災、安全性、その他の規制事項は特に考慮されていません。適切な国内および地域の要件が尊重されます。
  • フルスーツは、この標準の範囲内ではありません。

この部分は、2004年に国際標準として公開されました。この文書は、米国国家標準として提出され、ANSI / IEST / ISO 14644-7：2004として採用されました。

パート8：空中浮遊分子汚染の分類

ISO 14644のこの部分は、特定の化学物質（個々、グループ、またはカテゴリー）の空中濃度の観点から、クリーンルームおよび関連する制御環境における空中分子汚染（AMC）の分類を対象とし、試験方法、分析、および時間を含むプロトコルを提供します-分類の仕様内の加重係数。

このドキュメントは、2006年に標準になりました。これは、IESTのISO技術委員会209の事務局によって開発されました。

パート9：表面粒子の清浄度の分類

このISO文書は、クリーンルームおよび関連する制御環境アプリケーションの固体表面の粒子汚染レベルの分類について説明しています。試験および測定方法に関する推奨事項と表面特性に関する情報は、参考資料に記載されています。

現在、委員会草案であり、標準としてはまだ利用できません。

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